直线电机助力AOI晶圆检测方案

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直线电机助力AOI晶圆检测方案

诺波特科AOI晶圆检测解决方案利用特制直线电机作为运动轴，配合大理石平台为基准，使用激光干涉仪进行调试与补偿，来完成AOI晶圆表面检测。
为保证AOI晶圆检测设备的精度及水平状态，该企业整个机台安装面及接触面皆采用大理石平面。在设计之前，充分对大理石进行有限元分析，优化大理石的设计结构，防止大理石发生任何细微的形变。

方案配置：

RTH直线电机

客户对运动轴的精度、负载量提出高要求：

XY轴负载10kg，Z轴负载15kg

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