解决方案

  • 直线电机助力AOI晶圆检测方案
    诺波特科AOI晶圆检测解决方案利用特制直线电机作为运动轴,配合大理石平台为基准,使用激光干涉仪进行调试与补偿,来完成AOI晶圆表面检测。 为保证AOI晶圆检测设备的精度及水平状态,该企业整个机台安装面及接触面皆采用大理石平面。在设计之前,充分对大理石进行有限元分析,优化大理石的设计结构,防止大理石发生任何细微的形变。
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